中低溫變溫電阻測(cè)試

簡(jiǎn)要描述：該變溫電阻設(shè)備有以下特點(diǎn):$r$n1、變溫范圍廣，-196到高溫全覆蓋，且變溫過(guò)程中升降溫速率可控;$r$n2、測(cè)試精度高范圍廣，電阻測(cè)量范圍0.01uΩ到1200MΩ，廣泛應(yīng)用于各種金屬半導(dǎo)體材料，和相變材料研究;$r$n3、測(cè)試數(shù)據(jù)量大且完整，變溫過(guò)程中持續(xù)采集，電阻率數(shù)據(jù)每秒采集兩次。$r$n4、設(shè)備體積小，操作簡(jiǎn)單，維護(hù)方便。$r$n5、測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定，數(shù)據(jù)平滑，重復(fù)性高。

產(chǎn)品型號(hào)：RMS-600
廠商性質(zhì)：
更新時(shí)間：2022-4-18
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變溫腔采用加熱棒加熱，和通入液氮制冷的方式降溫。通過(guò)控制加熱棒電壓和液氮泵的轉(zhuǎn)速，可以控制變溫腔內(nèi)樣品臺(tái)升降溫的速率。

本設(shè)備對(duì)變溫過(guò)程中的樣品進(jìn)行電阻率的聯(lián)系采集，從而繪制處樣品在變溫過(guò)程中的電阻率聯(lián)系變化曲線。

序號(hào)	項(xiàng)目	技術(shù)指標(biāo)
	測(cè)試參數(shù)
1	測(cè)試物理量	變溫過(guò)程中電阻率連續(xù)采集
2	樣品要求	L≥10mm；W≥3mm；T≥50nm （適用與塊狀、片狀和帶基底的薄膜樣品）
3	電阻率測(cè)試誤差	≤10%
4	重復(fù)測(cè)試誤差	≤3%
5	電阻測(cè)量范圍	Ω－－Ω
	控溫參數(shù)
6	溫度范圍	80K-800K
7	溫度顯示精度	0.1℃
8	控溫精度	0.5℃
9	加熱方式	加熱棒加熱
10	制冷方式	液氮制冷
11	升溫速率	（1-30）K/min程序控制
12	降溫速率	（1-20）K/min程序控制
13	最大加熱功率	100W
	整機(jī)參數(shù)
14	采集控制箱尺寸	366mm（W）360mm（D）160mm（H）
15	測(cè)試裝置尺寸	140m120mm180mm
16	額定電壓	220V/50HZ
17	整機(jī)功率	250w
	其它參數(shù)
18	外殼冷卻方式	自然冷卻或風(fēng)冷
19	外殼最高溫度	40℃
20	測(cè)試氣氛	真空
21	真空度	≤1Pa
22	真空容積	2L

表 1-1 RMS-600技術(shù)參數(shù)

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