烤膠機(jī)。(英文名: Hot Plate)又名烘膠臺(tái)，烤膠臺(tái)，加熱平臺(tái)，烤膠板，熱臺(tái)，熱板等用途可在光刻工藝中的涂膠后的軟烘，暴光后烘，顯影后的堅(jiān)膜，磨片粘片熔臘等。產(chǎn)品采用整體鑄造，加熱板作為加熱體，增強(qiáng)了設(shè)備的安全性。采用單片機(jī)作為控制核心部件，有極高精f準(zhǔn)的控溫精度，緊湊美觀。該設(shè)備對(duì)一些溫度敏感材料(如晶體、半導(dǎo)體、陶瓷等）進(jìn)行加熱和裝卡尤為適用。該設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便，安全可靠，是從事半導(dǎo)體熱處理.材料研究生產(chǎn)、溫度干燥試驗(yàn)等不可少的工具。
烘膠臺(tái)可以用于光刻工藝中的前烘、中烘和后烘。該設(shè)備采用PID控溫系統(tǒng)自動(dòng)測(cè)溫控溫，并具有兩段式自動(dòng)升溫、烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點(diǎn)，可長時(shí)間持續(xù)穩(wěn)定工作。
烤膠機(jī)是一款緊湊且易于使用的光刻熱板。它用于光刻工藝的預(yù)烘烤，后烘烤和硬烘烤。該產(chǎn)品具有較高的烘烤速度，均勻性，較高的溫度控制精度和高度可重復(fù)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。烘烤控制設(shè)計(jì)用于預(yù)烘烤，后烘烤和硬烘烤，以進(jìn)行光蝕刻過程。
熱板與旋涂機(jī)或旋涂機(jī)一起使用，是在硅片或其他基板上制造金屬氧化物薄膜、聚合物涂層和金屬有機(jī)薄膜的理想工具。與傳統(tǒng)烤箱相比，使用加熱板固化薄膜將減少烘烤時(shí)間，提高可重復(fù)性，并獲得更均勻和更好的薄膜質(zhì)量。這是因?yàn)樵谡麄€(gè)基材上具有均勻的溫度曲線，并為薄膜和涂層提供均勻的加熱。因?yàn)楸∧?涂層是從下往上加熱的，所以可以避免皮膚效應(yīng)。
